導(dǎo)電材料電阻率的測(cè)試方法：

1.使用四探針?lè)ǎ核奶结樂(lè)ㄓ迷诜浅１〉臉悠?，例如晶圓片和導(dǎo)電涂層上。下圖是四點(diǎn)銅線探針用于電阻率測(cè)量的配置圖。電流從兩個(gè)外部的探針加入，而電壓降則在兩個(gè)內(nèi)部的探針之間測(cè)量。表面電阻率的計(jì)算公式為：σ=(π/In2)(V/I) 其中： σ=表面電阻率，V=電壓表測(cè)得的電壓，I=電流源電流。

2.整塊材料的電阻率：將電流源連到樣品的兩端，電壓表的引線則按已知的距離放置，根據(jù)樣品的橫截面積和電壓表引線之間的距離計(jì)算出電阻率：ρ= (V/I)(A/L) 其中：ρ=以厘米-歐姆為單位的電阻率；V=電壓表測(cè)量的電壓；I=電流源電流；A=以厘米2為單位的樣品的橫截面積(w × t) ；L=以厘米為單位的電壓表引線之間的距離。